离子风机的测试方法
符合性验证程序基于ESD STM3.1目的符合性验证程序目的是为了验证离子风机的消散时间和残留电压(离子平衡)在使用者规范的规格范围内;周期检验程序中的测试步骤通用于下列类别的电离设备;离子室,层流罩,工作台和自动化设备(台式和悬挂式),喷气(喷枪或喷嘴)。测试设备平板静电监测仪。秒表或其他适宜的计时器通常在便携式测试仪测量消散时间时使用。测试程序——初始测试设置测试点应设在离子中和ESDS元器件
2019-03-16